Электронная аппаратура постоянно подвергается воздействию дестабилизирующих факторов. Любое влияние на изделие может приводить к изменениям в работе устройства: от отклонений эксплуатационных параметров до отказов, поломок и разрушения входящих в ее состав элементов. Изучение воздействия такого фактора как электростатический разряд (ЭСР) позволит обеспечивать защитные меры еще на этапе проектирования изделий полупроводниковой промышленности. Важным аспектом исследования является классификация и систематизация возможных воздействий электростатического разряда.При детальном рассмотрении повреждений полупроводниковых приборов (ППП), вызванных ЭСР, следует различать:– дефекты, характерные для воздействия разрядного импульса на бездефектные и удовлетворяющие требованиям документации изделия;– повреждения, образование которых возможно только в случаях наличия технологических дефектов структуры и конструкции ППП;– повреждения структуры и конструктивных элементов, имеющие определенное сходство с повреждениями, образующимися при воздействии статического электричества, но вызванные другими признаками (например, аварийными бросками напряжения в питающих цепях устройства) [1].