<!DOCTYPE article
PUBLIC "-//NLM//DTD JATS (Z39.96) Journal Publishing DTD v1.4 20190208//EN"
       "JATS-journalpublishing1.dtd">
<article xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xmlns:xsi="http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance" article-type="research-article" dtd-version="1.4" xml:lang="en">
 <front>
  <journal-meta>
   <journal-id journal-id-type="publisher-id">Actual directions of scientific researches of the XXI century: theory and practice</journal-id>
   <journal-title-group>
    <journal-title xml:lang="en">Actual directions of scientific researches of the XXI century: theory and practice</journal-title>
    <trans-title-group xml:lang="ru">
     <trans-title>Актуальные направления научных исследований XXI века: теория и практика</trans-title>
    </trans-title-group>
   </journal-title-group>
   <issn publication-format="print">2308-8877</issn>
  </journal-meta>
  <article-meta>
   <article-id pub-id-type="publisher-id">8334</article-id>
   <article-id pub-id-type="doi">10.12737/14874</article-id>
   <title-group>
    <article-title xml:lang="en">The specific use of methods of non-destructive diagnostics of semiconductor products after exposure to electrostatic discharges</article-title>
    <trans-title-group xml:lang="ru">
     <trans-title>Специфика использования методов неразрушающего диагностического контроля полупроводниковых изделий после воздействия электростатических разрядов</trans-title>
    </trans-title-group>
   </title-group>
   <contrib-group content-type="authors">
    <contrib contrib-type="author">
     <name-alternatives>
      <name xml:lang="ru">
       <surname>Дегалевич</surname>
       <given-names>Дмитрий Александрович</given-names>
      </name>
      <name xml:lang="en">
       <surname>Degalevich</surname>
       <given-names>Dmitriy Александрович</given-names>
      </name>
     </name-alternatives>
    </contrib>
    <contrib contrib-type="author">
     <name-alternatives>
      <name xml:lang="ru">
       <surname>Врабий</surname>
       <given-names>Эдуард Михайлович</given-names>
      </name>
      <name xml:lang="en">
       <surname>Vrabiy</surname>
       <given-names>Eduard Михайлович</given-names>
      </name>
     </name-alternatives>
    </contrib>
    <contrib contrib-type="author">
     <name-alternatives>
      <name xml:lang="ru">
       <surname>Пискун</surname>
       <given-names>Геннадий Адамович</given-names>
      </name>
      <name xml:lang="en">
       <surname>Piskun</surname>
       <given-names>Gennadiy Адамович</given-names>
      </name>
     </name-alternatives>
     <email>kojiet@gmail.com</email>
    </contrib>
    <contrib contrib-type="author">
     <name-alternatives>
      <name xml:lang="ru">
       <surname>Алексеев</surname>
       <given-names>Виктор Федорович</given-names>
      </name>
      <name xml:lang="en">
       <surname>Alekseev</surname>
       <given-names>Viktor Федорович</given-names>
      </name>
     </name-alternatives>
     <email>kojiet@gmail.com</email>
    </contrib>
   </contrib-group>
   <pub-date publication-format="print" date-type="pub" iso-8601-date="2015-12-10T00:00:00+03:00">
    <day>10</day>
    <month>12</month>
    <year>2015</year>
   </pub-date>
   <pub-date publication-format="electronic" date-type="pub" iso-8601-date="2015-12-10T00:00:00+03:00">
    <day>10</day>
    <month>12</month>
    <year>2015</year>
   </pub-date>
   <volume>3</volume>
   <issue>7</issue>
   <fpage>342</fpage>
   <lpage>346</lpage>
   <self-uri xlink:href="https://anni.editorum.ru/en/nauka/article/8334/view">https://anni.editorum.ru/en/nauka/article/8334/view</self-uri>
   <abstract xml:lang="ru">
    <p>Изучаются требования к методам неразрушающего контроля полупроводниковых изделий (ППИ) и критерии для прогнозирования надежности по внезапным и параметрическим отказам на примере интегральных схем (ИС).</p>
   </abstract>
   <trans-abstract xml:lang="en">
    <p>We study the requirements for methods of nondestructive testing of semiconductor products (PPI) and criteria for prediction of reliability at the sudden and parametric failures, for example, integrated circuits (IC).</p>
   </trans-abstract>
   <kwd-group xml:lang="ru">
    <kwd>электростатический разряд (ЭСР)</kwd>
    <kwd>полупроводниковые изделия</kwd>
    <kwd>технологические отбраковочные испытания</kwd>
    <kwd>отжиг</kwd>
   </kwd-group>
   <kwd-group xml:lang="en">
    <kwd>electrostatic discharge (ESD)</kwd>
    <kwd>semiconductor products</kwd>
    <kwd>technological burn-in testing</kwd>
    <kwd>annealing</kwd>
   </kwd-group>
  </article-meta>
 </front>
 <body>
  <p>Существуют следующие общие положения методов НКДП [1, 2]:–  методы являются дополнительными к методам контроля качества и надежности, оговоренные в техническом условии на изделия, и могут быть использованы как при выходном контроле, так и в процессе их изготовления;–  применение НКДП позволяет проводить статическое регулирование технологического процесса, оценивать новые технологические решения, отбраковывать ППИ со скрытыми дефектами в процессе изготовления, анализировать причины отказов, заменять отдельные виды дорогостоящих технологических отбраковочных испытаний и т.д.;–  применение НКДП существенно повышает качество и надежность выпускаемой аппаратуры при уменьшении затрат на организацию входного контроля по стандартным параметрам и характеристикам;–  выбор методов НКДП на контролируемые параметры рекомендуется проводить с учетом основных механизмов и причин отказов конкретных изделий и с учетом их конструктивно-технологических и функциональных особенностей, а также специфики их применения в аппаратуре;–  нормы на контролируемые диагностические параметры должны периодически перепроверяться и в обоснованных случаях корректироваться, например, в случае изменения конструкции, топологии или технологии;–  реализация методов НКДП должна обеспечивать производительность, необходимую для использования их в технологическом процессе, которая достигается использованием метода в едином цикле и на программно-управляемом или специализированном оборудовании.В настоящее время особое внимание уделяется методам разделения партий интегральных схем (ИС) по стойкости к ЭСР. Это обусловлено тем, что в партии ИС всегда есть некоторое количество схем, имеющих пониженную чувствительность к электростатическим разрядам. В этом случае может оказаться целесообразным ввести предварительное (на стадии изготовления) разделение таких ИС на две партии с различной величиной стойкости к ЭСР.Для этой цели предложена методика испытаний с использованием разрядов малого потенциала, разовое воздействие которого не приводит к отказу ИС, но может вызвать изменение информативного параметра, по которому партия схем разделяется на две с различной стойкостью к ЭСР. Снижения надежности при этом не происходит, так как влияние единичного ЭСР на электрические параметры схемы компенсируется отжигом при повышенной температуре [1].Критерий разделения должен быть таким, чтобы можно было эффективно разделять ИС на две партии с различной величиной стойкости к разряду. Изначально, напряжение ЭСР подбирается таким, чтобы наблюдалось малое изменение информативного параметра в пределах норм технического условия. После, происходит разделение партии посредствам воздействия на ИС единичного ЭСР с напряжением, определенным ранее. Затем измененное значение информативного параметра каждой ИС сравнивается с критерием разделения, и производится разделение ИС на две партии, то есть отбираются схемы, имеющие более высокую стойкость к ЭСР.    В работах [3, 4] показано, что при отбраковке таких ИС памяти, как микроконтроллеры, наибольшее внимание необходимо уделять не только электрическим (статическим и динамическим) параметрам, но и возможным повреждениям записанного программного кода.</p>
 </body>
 <back>
  <ref-list>
   <ref id="B1">
    <label>1.</label>
    <citation-alternatives>
     <mixed-citation xml:lang="ru">Горлов, М.И. Технологические отбраковочные и диагностические испытания полупроводниковых изделий / М.И. Горлов, В.А. Емельянов, Д.Л. Ануфриев. Минск: Бел. наука, 2006. - 367 с.</mixed-citation>
     <mixed-citation xml:lang="en">Gorlov, M.I. Tekhnologicheskie otbrakovochnye i diagnosticheskie ispytaniya poluprovodnikovykh izdeliy / M.I. Gorlov, V.A. Emel&amp;#180;yanov, D.L. Anufriev. Minsk: Bel. nauka, 2006. - 367 s.</mixed-citation>
    </citation-alternatives>
   </ref>
   <ref id="B2">
    <label>2.</label>
    <citation-alternatives>
     <mixed-citation xml:lang="ru">Горлов, М.И. Физические основы надежности интегральных микросхем / М.И. Горлов, С.Ю. Королев. - М.: Воронеж ВГУ, 1995. - 200 с.</mixed-citation>
     <mixed-citation xml:lang="en">Gorlov, M.I. Fizicheskie osnovy nadezhnosti integral&amp;#180;nykh mikroskhem / M.I. Gorlov, S.Yu. Korolev. - M.: Voronezh VGU, 1995. - 200 s.</mixed-citation>
    </citation-alternatives>
   </ref>
   <ref id="B3">
    <label>3.</label>
    <citation-alternatives>
     <mixed-citation xml:lang="ru">Методика испытания микроконтроллеров на чувствительность к электростатическим разрядам / В.Ф. Алексеев, Н.И. Силков, Г.А. Пискун, А.Н. Пикулик // Доклады БГУИР. 2011. № 5 (59). С. 5-12.</mixed-citation>
     <mixed-citation xml:lang="en">Metodika ispytaniya mikrokontrollerov na chuvstvitel&amp;#180;nost&amp;#180; k elektrostaticheskim razryadam / V.F. Alekseev, N.I. Silkov, G.A. Piskun, A.N. Pikulik. Doklady BGUIR. 2011. № 5 (59). S. 5-12.</mixed-citation>
    </citation-alternatives>
   </ref>
   <ref id="B4">
    <label>4.</label>
    <citation-alternatives>
     <mixed-citation xml:lang="ru">Пискун, Г.А. Контроль функционирования микроконтроллеров при воздействии электростатического разряда / Г.А. Пискун, В.Ф. Алексеев // Док¬лады БГУИР. 2012. № 6 (68). С. 12-18.</mixed-citation>
     <mixed-citation xml:lang="en">Piskun, G.A. Kontrol&amp;#180; funktsionirovaniya mikrokontrollerov pri vozdeystvii elektrostaticheskogo razryada / G.A. Piskun, V.F. Alekseev. Dok¬lady BGUIR. 2012. № 6 (68). S. 12-18.</mixed-citation>
    </citation-alternatives>
   </ref>
  </ref-list>
 </back>
</article>
