TY JOUR TI Технология получения многослойной металлизации на поверхности кремния с использованием аморфного сплава KW металлизация KW кремний KW аморфный сплав JO Актуальные направления научных исследований XXI века: теория и практика AU Пашаев, И.Г. PY 2014 IS 2 PB Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова