%0 Journal Article %T ИССЛЕДОВАНИЯ ЗАВИСИМОСТИ ВЛИЯНИЯ ДОЛИ О2 НА ПОКРЫТИЯ TiOх ПОЛУЧЕННЫЕ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ %A Ващилин, В.. %A Кривоножко, Е.В. %K покрытия на стекле, оксид титана, анатаз, рутил, магнетронное осаждение, вакуумный фотонный отжиг %J Актуальные направления научных исследований XXI века: теория и практика %D 2020 %N 8 %P 6 %I Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова