TY JOUR TI Влияние угловой скорости на образование дефектов при формировании пленок центрифугированием KW математическое моделирование KW центрифугирование KW тонкие пленки KW фотолитография KW брызги KW слоистое течение. JO Актуальные направления научных исследований XXI века: теория и практика AU Бородина, Е.А. PY 2014 IS 2 PB Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова