TY JOUR TI СВОЙСТВА ПЛАЗМЕННЫХ ПОКРЫТИЙ, НАПЫЛЕННЫХ В РЕЖИМЕ МОДУЛЯЦИИ МОЩНОСТИ ДУГИ KW ПЛАЗМЕННОЕ НАПЫЛЕНИЕ KW ДВУХПОЛЯРНАЯ МОДУЛЯЦИЯ KW ПРОЧНОСТЬ СОЕДИНЕНИЯ ПОКРЫТИЯ С ОСНОВОЙ KW ГАЗОПРОНИЦАЕМОСТЬ KW СВОЙСТВА. JO Воронежский научно-технический вестник AU Кадырметов, А.М. AU Снятков, Е.В. AU Плахотин, А.А. AU Мандрыкин, И.А. PY 2022 IS 2 PB Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова