%0 Journal Article
%T Виды повреждений полупроводниковых изделий и их элементов при воздействии электростатических разрядов
%A Богатко, И.Н.
%K полупроводниковый прибор, электростатический разряд.
%J Актуальные направления научных исследований XXI века: теория и практика
%D 2015
%N 3
%P 3
%I Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова