%0 Journal Article
%T Внутренние элементы защиты интегральных схем от воздействия электростатических разрядов
%A Быковский, С.И.
%A Алексеев, В.Ф.
%A Пискун, Г.А.
%A Шинтар, А.В.
%K электростатический разряд (ЭСР), интегральная схема (ИС), МОП-транзистор, подложка, эпитаксиальный слой
%J Актуальные направления научных исследований XXI века: теория и практика
%D 2015
%N 3
%P 3
%I Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова