%0 Journal Article
%T Mоделирование чувствительных элементов датчиков давления на основе широкозонных полупроводников                          
%A Волков, В.С.
%A Французов, М.В.
%K пленка поликристаллического алмаза, чувствительный элемент, полупроводниковый датчик давления
%J Актуальные направления научных исследований XXI века: теория и практика
%D 2015
%N 3
%P 4
%I Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова