TY  JOUR
TI  Mоделирование чувствительных элементов датчиков давления на основе широкозонных полупроводников                          
KW  пленка поликристаллического алмаза
KW  чувствительный элемент
KW  полупроводниковый датчик давления
JO  Актуальные направления научных исследований XXI века: теория и практика
AU  Волков, В.С.
AU  Французов, М.В.
PY  2015
IS  3
PB  Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова