%0 Journal Article
%T Специфика использования методов неразрушающего диагностического контроля полупроводниковых изделий после воздействия электростатических разрядов
%A Дегалевич, Д.А.
%A Врабий, Э.М.
%A Пискун, Г.А.
%A Алексеев, В.Ф.
%K электростатический разряд (ЭСР), полупроводниковые изделия, технологические отбраковочные испытания, отжиг
%J Актуальные направления научных исследований XXI века: теория и практика
%D 2015
%N 3
%P 4
%I Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова