TY  JOUR
TI  Специфика использования методов неразрушающего диагностического контроля полупроводниковых изделий после воздействия электростатических разрядов
KW  электростатический разряд (ЭСР)
KW  полупроводниковые изделия
KW  технологические отбраковочные испытания
KW  отжиг
JO  Актуальные направления научных исследований XXI века: теория и практика
AU  Дегалевич, Д.А.
AU  Врабий, Э.М.
AU  Пискун, Г.А.
AU  Алексеев, В.Ф.
PY  2015
IS  3
PB  Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова