@article{Козловский2015термическая,
author={Козловский, А.Л. and Калиекперов, М.Е.},
title={Термическая обработка кремния: изменение морфологии поверхности},
journal={Актуальные направления научных исследований XXI века: теория и практика},
publisher={Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова},
year={2015},
pages={435-439},
volume={3},
issue={7},
}