TY  JOUR
TI  Термическая обработка кремния: изменение морфологии поверхности
KW  кремний
KW  термическая обработка
KW  шероховатость
JO  Актуальные направления научных исследований XXI века: теория и практика
AU  Козловский, А.Л.
AU  Калиекперов, М.Е.
PY  2015
IS  3
PB  Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова