LDR 00857naa#a2200181#i#450#
001     RU\\bibl\41552
005     20240524194800.5
011 ## _a2308-8877
100 ## _a20201229b2020####ek#y0rusy0150####ca
102 ## _aRU
200 1# _aИССЛЕДОВАНИЯ ЗАВИСИМОСТИ ВЛИЯНИЯ ДОЛИ О2 НА ПОКРЫТИЯ TiOх ПОЛУЧЕННЫЕ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ
       _eЖурнальная статья
210 1# _aВоронеж
       _cВоронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова
       _d2020
215 ## _a6 с.
608 ## _aЖурнальная статья
       _2local
675 ## _aФизика. 53
       _z
700 #1 _aВащилин
       _gВ.С. 
700 #1 _aКривоножко
       _gЕгор Владимирович
856 4# _aanni.editorum.ru
       _u