00857naa#a2200181#i#4500001001500000005001700015011001400032100004100046102000700087200022700094210016900321215001000490608004500500675002100545700002800566700006000594856002100654RU\\bibl\4155220240524172144.5##a2308-8877##a20201229b2020####ek#y0rusy0150####ca##aRU1#aИССЛЕДОВАНИЯ ЗАВИСИМОСТИ ВЛИЯНИЯ ДОЛИ О2 НА ПОКРЫТИЯ TiOх ПОЛУЧЕННЫЕ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯeЖурнальная статья1#aВоронежcВоронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозоваd2020##a6 с.##aЖурнальная статья2local##aФизика. 53#1aВащилинgВ.С. #1aКривоножкоgЕгор Владимирович4#aanni.editorum.ru