00857naa#a2200181#i#450# RU\\bibl\41552 20240524210456.5 2308-8877 20201229b2020####ek#y0rusy0150####ca RU ИССЛЕДОВАНИЯ ЗАВИСИМОСТИ ВЛИЯНИЯ ДОЛИ О2 НА ПОКРЫТИЯ TiOх ПОЛУЧЕННЫЕ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ Журнальная статья Воронеж Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова 2020 6 с. Журнальная статья local Физика. 53 Ващилин В.С. Кривоножко Егор Владимирович anni.editorum.ru