01080naa#a2200205#i#4500001001500000005001700015011001400032100004100046102000700087200017800094210016900272215001000441608004500451675011100496700005600607700006000663700006800723700006200791856002100853RU\\bibl\4841820241214084915.6##a2311-8873##a20220125b2022####ek#y0rusy0150####ca##aRU1#aСВОЙСТВА ПЛАЗМЕННЫХ  ПОКРЫТИЙ, НАПЫЛЕННЫХ В РЕЖИМЕ МОДУЛЯЦИИ МОЩНОСТИ ДУГИeЖурнальная статья1#aВоронежcВоронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозоваd2022##a6 с.##aЖурнальная статья2local##aИнженерное дело. Техника в целом. Общие характеристики. 62-1#1aКадырметовgАнвар Минирович#1aСнятковgЕвгений Вячеславович#1aПлахотинgАлександр Александрович#1aМандрыкинgИгорь Александрович4#aanni.editorum.ru