00804naa#a2200181#i#4500001001400000005001700014011001400031100004100045101000800086102000700094200016000101210016900261215001000430608004500440700005800485700005800543856002100601RU\\bibl\835920260314222217.6##a2308-8877##a20151210b2015####ek#y0rusy0150####ca0#aRUS##aRU1#aТермическая обработка кремния: изменение морфологии поверхностиeЖурнальная статья1#aВоронежcВоронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозоваd2015##a4 с.##aЖурнальная статья2local#1aКозловскийgАртем Леонидович#1aКалиекперовgМалик Ерланович4#aanni.editorum.ru