Examines the causes of damage to the metallization of integrated circuits (IC) in terms of currents of high density, which are typical for discharges of static electricity.
damage, failure, metallization, electrodiffusive, reliability, electrostatic discharge (ESD)
Технологические недостатки металлизации, контактов и внешних выводов в значительной мере объясняют тот факт, что прогнозируемая высокая надежность ИС достаточно трудно реализуема. Стоит отметить, что система внутрисхемных соединений должна исключительно надежно выполнять свои функции, однако производственно-технологические дефекты могут существенно ограничить возможности металлизации ИС.
Среди различных видов повреждения ИС, вызванных воздействием разрядов статического электричества, особое место принадлежит эффекту расплавления металлизированных дорожек, представляющих собой узкие (шириной в несколько микрон), тонкие (толщиной около 0,5 мкм), протяженные (длиной до 100 мкм) полоски металлизации, напыляемые на поверхность окисных защитных пленок [1, 2].
Из работы [3] известно, что отведение тепла от дорожки осуществляется четырьмя способами: путем конвекции, теплового излучения, теплопередачи вдоль дорожки и теплопередачи в глубину полупроводникового кристалла.
1. Onegin, E.E. Avtomaticheskaya sborka IS / E.E. Onegin, V.A. Zen´ko¬vich, L.G. Bitno. Minsk: Vysh. shk., 1990. 382 s.
2. Parfenov, O.D. Tekhnologiya mikroskhem / O.D. Parfenov. M.: Vyssh. shk., 1986. 320 s.
3. Kaverznev, V.A. Staticheskoe elektrichestvo v poluprovodnikovoy promyshlennosti / V.A. Kaverznev. M.: Energiya, 1975. 164 s.
4. Fizicheskie osnovy nadezhnosti IS / pod red. Yu.G.Millera. M., Sov. radio, 1976, 320 s.
5. Bryleva, O.A. Osnovnye mekhanizmy povrezhdeniya mikrokontrollerov vsledstvie vliyaniya elektrostaticheskikh razryadov / O.A. Bryleva, V.F. Alekseev, G.A. Piskun. Vestnik Belorussko-Rossiyskogo universiteta. 2013. № 2 (39). S. 130-137.
6. Modelirovanie raspredeleniya temperatury v tokovedushchikh elemen¬takh integral´nykh mikroskhem v rezul´tate vozdeystviya elektrostaticheskikh raz¬ryadov / G.A. Piskun, V.F. Alekseev, V.L. Lanin, V.G. Levin. Doklady BGUIR. 2014. № 4 (82). S. 16-22.
